我司提供五轴精密运动台作为曲面轮廓检测的运动系统，搭配客户接触式探针等检测设备完成测量。
精度指标
XY轴作为扫描轴，重复定位精度优于±50nm，用于调整工件位置；
AB轴作为摆动轴，重复定位精度≤1arc sec，跳动误差优于200nm；
Z轴用来调整探针位置，将探针定位到工件表面，重复定位精度±50nm；
支持5轴联动，以达到理想测量路径。
结构特点
XY轴为闭式气浮导轨结构，四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强。
Z轴配置交叉滚柱直线导轨，亚微米级定位精度。配置的重力平衡气缸可有效抵消电机向上持续输出力，提升精度性能。
AB轴气浮转台采用闭式气浮轴承，百纳米级别的轴向跳动误差和径向跳动误差。
